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詳解半導體氣體過濾器的工作原理及其在行業(yè)中的應用!

作者:燒結過濾器專家 發(fā)布時間:2024-11-29 03:33:10人氣: 來源:金屬燒結過濾器廠家

一、半導體氣體過濾器的工作原理


半導體氣體過濾器其工作原理相當精妙。拿恒歌半導體氣體過濾器來說,當含有雜質(zhì)的氣體進入過濾器時,首先遭遇的是其內(nèi)置的 0.003 - 100 微米過濾器。這些不同孔徑的濾網(wǎng)就像層層關卡,憑借超高顆粒攔截效率,哪怕是極其微小的顆粒也難以蒙混過關。其先進的納米攔截功能更是如虎添翼,對于納米級別的雜質(zhì)能精準捕捉。


整體 316L 不銹鋼結構不僅為過濾器提供了堅固的框架,還在過濾過程中起到關鍵作用。這種材質(zhì)耐高溫、耐高壓、耐腐蝕,確保在半導體生產(chǎn)的極端環(huán)境下,如高溫的芯片退火工序或高壓的氣體輸送環(huán)節(jié),過濾器依然能穩(wěn)定運行。而且,過濾器設計成高通量、低阻力,氣體能夠順利通過,就像水流經(jīng)過精心設計的河道,既保證了過濾速度,又不影響氣體的正常供應。

氣體8.jpg


二、在半導體行業(yè)中的應用


在半導體制造這個高精尖領域,半導體氣體過濾器無處不在且不可或缺。在芯片制造的光刻環(huán)節(jié),對氣體純度要求極高,哪怕一絲雜質(zhì)都可能使光刻圖案出現(xiàn)偏差,導致芯片報廢。而該過濾器能將出口氣體雜質(zhì)含量控制在小于 5ppb,為光刻提供超純凈氣體環(huán)境,保障圖案精準度。


蝕刻工藝中,純凈的蝕刻氣體是關鍵。過濾器去除雜質(zhì)后,蝕刻反應能均勻穩(wěn)定進行,確保芯片蝕刻效果。對于多種工藝氣體,無論是常用的氮氣、氬氣,還是特殊的反應性氣體,恒歌半導體氣體過濾器都能應對自如。它還可配置兩閥、三閥和四閥等組件,方便與各類半導體設備集成。無論是大型晶圓制造設備,還是小型氣體供應單元,都能無縫銜接,在整個半導體產(chǎn)業(yè)鏈中,它都是保障產(chǎn)品高質(zhì)量、高性能的幕后英雄,為半導體行業(yè)的蓬勃發(fā)展默默貢獻力量。


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客戶評價

  • 來自深圳某半導體工廠
  • 不銹鋼燒結濾芯做的真不錯,和圖紙完全一致,外觀處理的也美觀,物有所值,恒歌科技已納入我司長期供應商體系!
  • 來自廣東廣州某液化氣公司反饋
  • 定制采購一批用作汽柴油的油品凈化的多孔不銹鋼粉末燒結過濾管,微孔要求0.4-0.6um,兩頭通氣;效果很滿意,定制速度快!
  • 來自深圳龍崗區(qū)某PCB線路板工廠的評價
  • 定制的燒結不銹鋼濾芯做工很好,我們選用316不銹鋼材質(zhì),耐高溫耐腐蝕性很好,恒歌科技技術配合度高,合作愉快,推薦合作!
  • 來自天津某過濾機械設備廠家的評價
  • 恒歌是我們一直合作的濾芯生產(chǎn)廠家,這次又定制一批不銹鋼燒結網(wǎng),整塊板微孔要求1.-1.5毫米 200目;交貨速度杠杠滴,技術支持非常棒!
  • 來自東莞厚街某過濾機械廠家的反饋
  • 采購了幾次恒歌不銹鋼濾芯,定制的1um高精度微孔燒結片和316不銹鋼粉末燒結板,質(zhì)量杠杠滴,推薦合作!
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