在現(xiàn)代半導(dǎo)體制造中，氣體的純凈度是確保產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率的核心要素之一。超高純工藝氣體在氣相沉積、刻蝕等關(guān)鍵工藝中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用，而氣體中的微小顆粒和雜質(zhì)則可能對生產(chǎn)過程造成嚴(yán)重影響，導(dǎo)致芯片缺陷、良品率下降甚至設(shè)備損壞。因此，高效可靠的氣體過濾器成為半導(dǎo)體行業(yè)不可或缺的設(shè)備。本文將詳細介紹工業(yè)氣體過濾器在半導(dǎo)體制造中的應(yīng)用，特別是我們的不銹鋼氣體過濾器如何為超高純工藝氣體提供卓越的過濾解決方案。

一、氣體純凈度的重要性

半導(dǎo)體制造是一個高度精密的過程，芯片的制造精度可以達到納米級別。在這個過程中，氣體的純凈度直接影響到產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。例如，在化學(xué)氣相沉積(CVD)過程中，微小的顆粒雜質(zhì)可能會附著在硅片表面，導(dǎo)致薄膜的不均勻性;在蝕刻工藝中，雜質(zhì)可能會干擾蝕刻的精度，導(dǎo)致圖案轉(zhuǎn)移的不準(zhǔn)確。因此，去除氣體中的微小顆粒和雜質(zhì)，確保氣體的超高純度，是半導(dǎo)體制造中不可或缺的環(huán)節(jié)。

二、工業(yè)氣體過濾器的應(yīng)用

(一)氣體輸送系統(tǒng)

在半導(dǎo)體制造中，氣體輸送系統(tǒng)負責(zé)將超高純工藝氣體從儲存罐輸送到各個工藝設(shè)備。在這個過程中，氣體可能會受到管道內(nèi)壁的腐蝕、焊接點的雜質(zhì)或其他外部因素的污染。因此，氣體輸送系統(tǒng)中安裝的氣體過濾器必須能夠有效去除這些雜質(zhì)，確保輸送至工藝設(shè)備的氣體達到超高純度。

(二)化學(xué)氣相沉積(CVD)設(shè)備

化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵工藝之一，用于在硅片表面沉積高質(zhì)量的薄膜。在這個過程中，反應(yīng)氣體的純凈度直接影響薄膜的質(zhì)量和均勻性。氣體中的雜質(zhì)可能會導(dǎo)致薄膜的缺陷，影響芯片的性能。因此，CVD設(shè)備中使用的氣體過濾器必須具備高精度的過濾能力，能夠去除氣體中的微小顆粒和雜質(zhì)，確保薄膜的質(zhì)量。

(三)蝕刻設(shè)備

蝕刻工藝是半導(dǎo)體制造中的另一個關(guān)鍵環(huán)節(jié)，用于在硅片上刻蝕出微小的圖案。蝕刻過程中使用的氣體必須具有高純度，以確保蝕刻的精度和圖案的準(zhǔn)確性。氣體中的雜質(zhì)可能會干擾蝕刻過程，導(dǎo)致圖案轉(zhuǎn)移的不準(zhǔn)確，甚至損壞蝕刻設(shè)備。因此，蝕刻設(shè)備中使用的氣體過濾器必須能夠提供高純度的氣體，確保蝕刻過程的穩(wěn)定性和可靠性。

三、我們的不銹鋼氣體過濾器

為了滿足半導(dǎo)體制造中對超高純工藝氣體的嚴(yán)格要求，我們開發(fā)了專用于超高純工藝氣體在線過濾的不銹鋼氣體過濾器。這種過濾器采用全316L不銹鋼精密打造，具備卓越的耐腐蝕性、耐高溫性和高強度，能夠在極端條件下保持穩(wěn)定運行。以下是我們的不銹鋼氣體過濾器的主要特點：

(一)整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)

我們的不銹鋼氣體過濾器采用全316L不銹鋼材質(zhì)精密制造。316L不銹鋼以其卓越的耐腐蝕性、耐高溫性和高強度，成為半導(dǎo)體行業(yè)的首選材料。這種材質(zhì)不僅能夠抵御工藝氣體中的化學(xué)腐蝕，還能在高溫環(huán)境下保持結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，確保過濾器在極端條件下的長期穩(wěn)定運行。

(二)高通量、低阻力

我們的過濾器采用多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設(shè)計，增加了過濾面積，優(yōu)化了氣體流動路徑。這種設(shè)計不僅提高了過濾效率，還降低了氣體通過過濾器時的壓力損失。在高流量工況下，過濾器仍能保持較低的阻力，確保氣體的高效輸送，同時減少系統(tǒng)的能耗。

(三)超高顆粒攔截率

我們的不銹鋼氣體過濾器的過濾精度高達0.003μm，能夠有效去除氣體中的微小顆粒和雜質(zhì)。這種超高精度的過濾能力，確保了氣體的超高純度，滿足半導(dǎo)體制造中氣相沉積、刻蝕等工藝對氣體純度的嚴(yán)格要求。無論是亞微米級別的顆粒還是更小的雜質(zhì)，都能被精準(zhǔn)攔截，保障工藝氣體的純凈度。

(四)耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

過濾器的整體金屬構(gòu)造使其具備出色的耐高溫、耐高壓和耐腐蝕性能。它能夠適應(yīng)多種工藝氣體的復(fù)雜環(huán)境，無論是高溫高壓的蒸汽，還是具有強腐蝕性的化學(xué)氣體，都能在過濾器中安全通過，確保過濾過程的穩(wěn)定性和可靠性。這種高性能的過濾器，是高溫動態(tài)環(huán)境下的理想選擇。

(五)適用于潔凈室環(huán)境

我們的不銹鋼氣體過濾器專為潔凈室環(huán)境設(shè)計，適用于制造、測試和包裝等環(huán)節(jié)。其整體金屬結(jié)構(gòu)和精密設(shè)計，能夠有效防止氣體泄漏，確保潔凈室內(nèi)的空氣質(zhì)量。同時，過濾器的安裝和維護過程也經(jīng)過優(yōu)化，能夠在潔凈室內(nèi)快速完成，減少對生產(chǎn)環(huán)境的影響。

(六)嚴(yán)格的質(zhì)量檢測

每一件不銹鋼氣體過濾器都經(jīng)過100%完整性測試和100%氨氣檢漏測試。完整性測試確保過濾器的過濾介質(zhì)沒有缺陷或漏洞，能夠有效攔截雜質(zhì);氨氣檢漏測試則利用氨氣的高靈敏度特性，檢測過濾器是否存在微小泄漏點。通過這兩項嚴(yán)格測試，我們確保每一臺交付給客戶的過濾器都具備可靠的密封性能和卓越的過濾效果。

在半導(dǎo)體制造中，氣體的純凈度是確保產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率的關(guān)鍵因素之一。我們的不銹鋼氣體過濾器專為超高純工藝氣體在線過濾應(yīng)用而設(shè)計，采用全316L不銹鋼精密打造，具備高通量、低阻力、超高顆粒攔截率、耐高溫、耐高壓和耐腐蝕等優(yōu)異性能。通過100%完整性測試和氨氣檢漏測試，我們確保每一臺過濾器都具備可靠的密封性能和卓越的過濾效果。無論是在氣體輸送系統(tǒng)、化學(xué)氣相沉積設(shè)備還是蝕刻設(shè)備中，我們的不銹鋼氣體過濾器都能為半導(dǎo)體制造提供高效、可靠的氣體過濾解決方案，助力客戶實現(xiàn)高質(zhì)量的生產(chǎn)目標(biāo)。

別人還看了：

• 工業(yè)常用氣體的種類及工業(yè)氣體過濾器的應(yīng)用解析