KF系列真空系統(tǒng)氣體過濾器易于安裝于真空系統(tǒng)，特別適用于實(shí)現(xiàn)清潔、快速且低湍流的回填過程有效提升產(chǎn)品產(chǎn)量和設(shè)備吞吐量。在規(guī)范安裝及操作條件下，可確保產(chǎn)品完整性達(dá)3,000,000次循環(huán)。該過濾器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備接口(如CVD、PVD、E...

直線過濾器采用316L不銹鋼材質(zhì)，線型結(jié)構(gòu)緊湊，用于空間受限的環(huán)境下過濾氣體或液體中的微固體，以保護(hù)下游流體設(shè)備。最高工作壓力可達(dá)207bar；最高工作溫度204℃；多種過濾精度：2-5微米，5-10微米，20-40微米。廣泛應(yīng)用于實(shí)驗(yàn)室、...

HF系列高壓氣體專用過濾器，用于半導(dǎo)體制程中高壓高純氣體輸送系統(tǒng)和超高純氣體箱系統(tǒng)。堅(jiān)固的316L不銹鋼結(jié)構(gòu)和50Mpa設(shè)計(jì)壓力以及相對(duì)較輕的重量相結(jié)合，兼具高強(qiáng)度、耐高溫、耐腐蝕、高透氣性及長(zhǎng)壽命，能高效濾除壓縮空氣中的塵埃、鐵銹、油霧及...

BF系列大宗氣體專用過濾器、專為半導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線過濾應(yīng)用設(shè)計(jì)、采用全316L不銹鋼精密打造、多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設(shè)計(jì)確保高流通量下低阻損、過濾精度高達(dá)0.003μm、滿足超高純工藝需求，整體金屬構(gòu)造、是高溫動(dòng)態(tài)環(huán)境下的理想過濾解決...

HF系列高壓氣體專用過濾器采用316l不銹鋼經(jīng)高溫?zé)Y(jié)制成，具有良好的機(jī)械性和剛性，耐高溫、耐腐蝕、透氣，易于清潔的特點(diǎn)；濾芯式的設(shè)計(jì)可更換濾芯,可以重復(fù)使用，使用壽命長(zhǎng)；可去除壓縮空氣中的油、水、異物等雜質(zhì)，改善下游干燥機(jī)的功能，延長(zhǎng)精密...

0F系列在線式專用氣體過濾器，專為高流量電子級(jí)氣體超純凈化設(shè)計(jì)，過濾精度高達(dá)0.003μm。其結(jié)構(gòu)緊湊、強(qiáng)度高，與多種半導(dǎo)體工藝氣體兼容，尤其適用于大宗氣體及惰性氣體。該系列采用全焊接316L不銹鋼外殼，確保與多數(shù)高純度半導(dǎo)體工藝氣體的兼容...

VCR（Vacuum Coupling Retainer）過濾墊片氣體管路密封限流接頭是一種用于氣體管路連接的部件。它主要起到密封、過濾和限流的作用。

OF系列在線式專用氣體過濾器，專為高流量電子級(jí)氣體超純凈化設(shè)計(jì)，過濾精度高達(dá)0.003um。其結(jié)構(gòu)緊湊、強(qiáng)度高，與多種半導(dǎo)體工藝氣體兼容，尤其適用于大宗氣體及惰性氣體。該系列采用全焊接316L不銹鋼外殼，確保與多數(shù)高純度半導(dǎo)體工藝氣體的兼容...

半導(dǎo)體氣體過濾器是一種專門的過濾裝置，用于去除半導(dǎo)體制造中使用的氣體中的顆粒、水分和碳?xì)浠衔锏入s質(zhì)。

MF系列儀器保護(hù)專用過濾器、全金屬材質(zhì)、專為半導(dǎo)體氣體分配系統(tǒng)設(shè)計(jì)、兼容114”、3/8”及1/2”VCR標(biāo)準(zhǔn)墊圈接口。此過濾器采用墊片式便捷安裝、是MFC模塊、精密閥門及穩(wěn)壓設(shè)備不可或缺的守護(hù)屏障。在高達(dá)400℃環(huán)境下、能有效阻隔微粒侵襲...

在半導(dǎo)體制造的微觀世界里，哪怕是極其微小的雜質(zhì)顆粒都可能對(duì)芯片的質(zhì)量與性能產(chǎn)生災(zāi)難性的影響。恒歌真空系統(tǒng)氣體過濾器它被廣泛應(yīng)用于各類半導(dǎo)體設(shè)備接口，如化學(xué)氣相沉積(CVD)、物理氣相沉積(PVD)、蝕刻(Etch)、外延生長(zhǎng)(Epi)等關(guān)鍵...

SF系列IGS面板專用過濾器，用于半導(dǎo)體行業(yè)集成氣體輸送與控制系統(tǒng)，兼容C型和W型多種密封規(guī)格，實(shí)現(xiàn)0.003um級(jí)高效顆粒過濾，保障9-LRV清潔度。支持高達(dá)100slpm的大流量，適助力設(shè)備升級(jí)無憂。全316L不銹鋼構(gòu)造，堅(jiān)固耐用，緊湊...