可廣泛應(yīng)用于各種工況。過濾樣氣雜質(zhì)、顆粒等，耐腐蝕、耐高壓、不易生銹、廣泛適用于各種氣體預處理系統(tǒng)中。超純氣體過濾可通過多級處理滿足工況要求，產(chǎn)品無焊接部位，耐壓性能、安全系數(shù)極高，適用于高壓工況下的氣體及液體過濾，體積小，安裝方便，為高壓運行系統(tǒng)提供了相當高的技術(shù)和經(jīng)濟優(yōu)勢。產(chǎn)品應(yīng)用范圍廣，與大多數(shù)高純度半導體工藝氣體具有良好的兼容性；微納米顆粒過濾能力保持高流量效率，超小壓降