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高純半導(dǎo)體過濾器
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316高壓高純氣體過濾器_半導(dǎo)體氣體純化過濾器

  • 恒歌氣體純化過濾器采用不銹鋼316L制成,通過物理吸附相結(jié)合的方法在常溫下將工藝氣體中的H20,O2,CO,CO2,NMHC等雜質(zhì)去除,并且在316L不銹鋼罐體中內(nèi)置了過濾精度為3納米到100微米的顆粒過濾器。
  • 產(chǎn)品詳情

恒歌氣體純化過濾器采用不銹鋼316L制成,通過物理吸附相結(jié)合的方法在常溫下將工藝氣體中的H20,O2,CO,CO2,NMHC等雜質(zhì)去除,并且在316L不銹鋼罐體中內(nèi)置了過濾精度為3納米到100微米的顆粒過濾器。

產(chǎn)品特點及規(guī)格:

1、耐高溫耐高壓耐腐蝕

2、整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)

3、適用于多種工藝氣體

4、高通量、低阻力

5、超高顆粒攔截效率

6、100%氨氣檢露測試

7、內(nèi)置0.003-100微米過濾器

8、出口氣體各雜質(zhì)含量小于5ppb

9、可配置兩閥、三閥和四閥等組件

透氣孔徑:

納米級:3nm、7nm、50nm、100nm、200nm、500nm可定制

微米級的:0.003-100μm

產(chǎn)品應(yīng)用:

恒歌半導(dǎo)體氣體純化過濾器專業(yè)應(yīng)用于半導(dǎo)體制程超純工藝氣體在線過濾、大流量電子級氣體超純凈化開發(fā)、集體氣體輸送分配、氣體限流,特別適用于惰性氣體和反應(yīng)性氣體的過濾。


恒歌-不銹鋼燒結(jié)濾芯-DSC_2563.jpg

恒歌-燒結(jié)不銹鋼濾器-DSC_2556.jpg



恒歌-水過濾器--DSC_4176.jpg

恒歌-燒結(jié)不銹鋼多孔過濾器-DSC_2567.jpg

恒歌-不銹鋼燒結(jié)多孔過濾器-DSC_2551.jpg

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