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半導(dǎo)體氣體過濾器
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高流量超純氣體擴(kuò)散器 過濾器_擴(kuò)散器過濾器_工藝潔凈過濾器

  • DF系列擴(kuò)散器專用過濾器,專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計(jì)。結(jié)合了擴(kuò)散器的氣體流動(dòng)特性和高效過濾器的顆粒攔截特性,擴(kuò)散器專用過濾器過濾精度可達(dá)0.003μm。獨(dú)特的全316L不銹鋼結(jié)構(gòu),不僅確保高效過濾,更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生,對(duì)工藝室環(huán)境造成影響,有效防止氣流吹起顆?;蛘叽灯鸸杵?。可定制化設(shè)計(jì),靈活適應(yīng)各類安裝空間。
  • 產(chǎn)品詳情



DF系列擴(kuò)散器專用過濾器、專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計(jì)   穩(wěn)壓、穩(wěn)流、規(guī)避湍流

結(jié)合了擴(kuò)散器的氣體流動(dòng)特性和高效過濾器的顆粒攔截特性、擴(kuò)散器專用過濾器過濾精度可達(dá)0.003um。

獨(dú)特的全316L不銹鋼結(jié)構(gòu)、不僅確保高效過濾、更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生、對(duì)工藝室環(huán)境造成影響、有效防止氣流吹起顆粒或者吹起硅片。

可定制化設(shè)計(jì)、靈活適應(yīng)各類安裝空間。

產(chǎn)品特點(diǎn)

不銹鋼粉末燒結(jié)介質(zhì)、可快速排氣

整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)

減少工藝腔體排氣時(shí)的湍流

適用于多種工藝氣體

潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測(cè)試、包裝

100%完整性測(cè)試通過

100%氨氣泄露檢測(cè)通過、耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

防止微?;烊搿椭岣弋a(chǎn)品合格率可根據(jù)安裝空間進(jìn)行設(shè)計(jì)

技術(shù)參數(shù)

濾芯材質(zhì)316L不銹鋼粉末燒結(jié)殼體材質(zhì)316L不銹鋼
表面處理內(nèi)表面:Ras32um過濾精度um≥003um
最大進(jìn)氣壓力4bar最大工作壓差5bar
最高使用溫度400°C下游潔凈度≥0.03particles/liter
@>0.01ym rated flow


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半導(dǎo)體-真空系統(tǒng)氣體過濾器_15.jpg


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