SF系列IGS面板專用過(guò)濾器用于半導(dǎo)體行業(yè)集成氣體輸送與控制系統(tǒng)、兼容C型和W型多種密封規(guī)格、實(shí)現(xiàn)0.003μm級(jí)高效顆粒過(guò)濾、保障9-LRV清潔度。支持高達(dá)100slpm的大流量、適助力設(shè)備升級(jí)無(wú)憂。全316L不銹鋼構(gòu)造、堅(jiān)固耐用、緊湊體型融合全焊接與機(jī)械密封技術(shù)。采用符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)的表面安裝元件、便于系統(tǒng)集成與模塊化設(shè)計(jì)升級(jí)、安裝維護(hù)便捷高效。

產(chǎn)品特點(diǎn)

? 整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)

? 小型化設(shè)計(jì)、結(jié)構(gòu)緊湊、不占用空間優(yōu)異的氣體置換和解吸特性

? 耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

? 電解拋光316L不銹鋼外殼

? 安裝與檢修便捷高效

? 采用機(jī)械密封、結(jié)構(gòu)上與介質(zhì)無(wú)焊接

技術(shù)參數(shù)